Herstellung eines piezoresistiven Drucksensors aus Siliziumcarbid mittels reaktiven Ionenätzen
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› 2022
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Ngo, Ha Duong, P. Mackowiak, K. Erbacher, M. Bäuscher, K. Höppner, M. Schiffer,: Herstellung eines piezoresistiven Drucksensors aus Siliziumcarbid mittels reaktiven Ionenätzen. In: Herstellung eines piezoresistiven Drucksensors aus Siliziumcarbid mittels reaktiven Ionenätzen. Hg. von AMA Sensoren und Messsysteme. Nürnberg: AMA 2022, S. 1-4.