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Sputtern an Atmosphärendruck Artikel › Journalartikel › 2015 Zitation Artikel Bickel, Jan; Krellmann, Martin; Gesche, Roland; Kovacs, Reinhold; Scherer, Joachim: Sputtern an Atmosphärendruck. In: Galvanotechnik 106, 11. (2015), S. 2268-2273. ISSN 0016-5232 | B 20696 Zitieren BibTeX / RIS