Investigation of DRIE etching performance on signal quality of a SOI based pressure sensors for harsh environments

Veranstaltungsbeitrag › Vortrag › 2015

Veranstaltung

Sensor+Test 2015
Nünberg, 10.05.2015 - 12.05.2015

Ergänzende Angaben

Präsentation

Homepage

http://www.sensor-test.de/willkommen-bei-der-messtechnik-messe-sensor-test-2015/

Zugehörige Publikationen