Optimierung der naßchemischen Präparation von Silizium durch Monitoring der elektronischen Grenzflächeneigenschaften mittels SPV Messungen

Typ

Beitrag Konferenzband von Prof. Dr. Bert Stegemann

Zitation

Angermann, Heike ; Balamou, Patrice ; Kegel, Jan ; Lu, W. ; Stegemann, Bert: Optimierung der naßchemischen Präparation von Silizium durch Monitoring der elektronischen Grenzflächeneigenschaften mittels SPV Messungen. In: 18. Tagung Festkörperanalytik, S. KV32, Technische Universität Wien, Wien, 2015, ISBN -