Optimierung der naßchemischen Präparation von Silizium durch Monitoring der elektronischen Grenzflächeneigenschaften mittels SPV Messungen

Konferenzbeitrag › Konferenzpaper › 2015

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Angermann, Heike; Balamou, Patrice; Kegel, Jan; Lu, W.; Stegemann, Bert: Optimierung der naßchemischen Präparation von Silizium durch Monitoring der elektronischen Grenzflächeneigenschaften mittels SPV Messungen. In: 18. Tagung Festkörperanalytik. Wien: Technische Universität Wien 2015, S. KV32.

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