Bonduntersuchung
Forschungsprojekt
Machbarkeitsprüfung zur Bondbarkeit von dünnen Metallschichten die mittels Atmosphärendrucksputtern auf dielektrischen Substraten abgeschieden wurden (MeCoSputBond)
Projektlaufzeit
Projektleitung
- Prof. Dr.-Ing. Ha Duong Ngo(Projektleitung)
Mittelgeber
Beaplas GmbH
Förderprogramme
Auftrag über Transferbonus