Ziel dieses Projektes ist es, zu erforschen, in wie fern weitere Materialien an Atmosphärendruck mittels Mikroplasmen gesputtert werden können, in wie weit diese zudem mittels reaktiver Prozesse noch zu vielfältigere Materialien prozessiert und abgeschieden werden können und welche Verfahrens- und Fertigungsspezifischen Anforderungen es dafür benötigt, um eine entsprechende Produktion im industriellen Maßstab zu realisieren.

Es soll dabei die Möglichkeit erforscht werden, in wie weit die APLD Technologie aus der reinen DCPlasmaabscheidung für Edelmetalle heraus weiterentwickelt werden kann.

• Jan Bickel (Projektleitung)
• Prof. Dr.-Ing. Ha Duong Ngo (Projektleitung)

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