Die vorgestellte Hochspannungs-Kapazitätsmessmethode beruht auf der Einspeisung eines Wechselstroms. Der Messablauf gliedert sich in zwei Phasen mit anschließender Entladung. Zunächst erfolgt die Kalibrierung der C-V-Kennlinie im Niederspannungsbereich: Zwei Präzisions-Kondensatoren werden in den Sekundärkreis des Transformators geschaltet. Ein Konstantstromgenerator speist über die Primärwicklung einen sinusförmigen Wechselstrom ein, und die resultierende Spannung an der Stromquelle wird mit einem Messgerät erfasst. Aus den Messwerten wird die Lastkapazität bestimmt.

• Prof. Dr.-Ing. Massoud Momeni(Projektleitung)
• Prof. Dr.-Ing. Ha Duong Ngo(Projektleitung)

ASML