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Technologien der Mikrosysteme Buch / Monographie › 2023 Buch / Monographie Ngo, Ha Duong: 1. Wiesbaden: Springer Nature 2023 , S. 249. ISBN 978-3-658-37497-6 Link https://doi.org/10.1007/978-3-658-37498-3 Sprache Deutsch Zitieren BibTeX / RIS