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Projekte von Prof. Dr.-Ing. Massoud Momeni Laufende ProjekteEntwicklung einer elektronischen Lösung zur Nachjustierung der Waferposition in einer elektrostatischen 300mm Waferbefestigung (Chuck) (Elektrostatik) Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Massoud Momeni; Prof. Dr.-Ing. Ha Duong Ngo 01.07.2026 - 30.06.2027