17. Juli 2025 — Die ASML Berlin GmbH und die Hochschule für Technik und Wirtschaft Berlin (HTW Berlin) haben eine Vereinbarung zur technischen Zusammenarbeit unterzeichnet, deren Schwerpunkt auf gemeinsamer Forschung liegt. Es sollen Lösungen entwickelt werden, die die Halbleiterindustrie voranbringen.

 „Wir freuen uns sehr, mit ASML einen der führenden Anbieter in der Halbleiterindustrie als Forschungspartner gewonnen zu haben. Die räumliche Nähe bietet dabei beste Voraussetzungen für den Wissens- und Technologietransfer, beispielsweise mit den Forschenden und Studierenden aus unserem Studiengang Mikrosystemtechnik,“  so Prof. Dr. Stefanie Molthagen-Schnöring, Vizepräsidentin für Forschung, Transfer und Wissenschaftskommunikation der HTW Berlin.

Am Standort Berlin entwickelt und fertigt ASML wichtige Schlüsselkomponenten für die ASML Lithografiesysteme. Diese Komponenten haben sich in den vergangenen Jahren zu elektromechanischen Mikrosystemen weiterentwickelt. Die gemeinsamen Forschungsschwerpunkte mit der HTW Berlin liegen im Aufbau von mikrosystemtechnischen Kenntnissen und der Entwicklung von neuen Fertigungstechnologien, die auf diesen neuen Kenntnissen beruhen, um Fortschritte für die Halbleiterlithografie zu ermöglichen.

Die Lithografie ist ein entscheidender Prozessschritt bei der Herstellung von Mikrochips, bei dem Schichten mit winzigen Strukturen auf einem Siliziumwafer aufgebaut werden. Beim Lithografieschritt wird Licht verwendet, um das Muster jeder Schicht dieser integrierten Schaltkreise zu erzeugen. Der Fortschritt bei den Strukturierungstechniken bestimmt in hohem Maße die Leistungsfähigkeit und die Effizienz von Mikrochips, die die Digitalisierung der Gesellschaft sowie künstliche Intelligenz ermöglichen. Darüber hinaus wird diese Zusammenarbeit auch die Kooperation in Studium und Ausbildung stärken. Dies ist wichtig, da die Nachfrage nach Fachkräften in der Halbleiterindustrie steigt. So wird sichergestellt, dass die Branche und auch die sich daraus ergebenden Chancen für Professorinnen, Professoren, Lehrkräfte und Studierende sichtbar und greifbar werden.

ASML hat am Standort im Peter Behrens Bau in Berlin Oberschöneweide – in unmittelbarer Nähe der HTW Berlin – Forschungslabore mit dem neuesten Equipment eingerichtet. Wissenschaftler*innen und Studierende der HTW Berlin können dort direkt an den Maschinen und Vorrichtungen forschen und gemeinsam mit den ASML Expertinnen und Experten neue Technologien entwickeln. „Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit der HTW. Die HTW Berlin ist die größte Hochschule für angewandte Wissenschaften Berlins, ein wichtiger Talentlieferant und ein bedeutender akademischer Partner, insbesondere im Bereich der Mikrosystemtechnik. Die gemeinsame Forschung wird wissenschaftliche Erkenntnisse liefern und neue Fertigungstechnologien und -verfahren hervorbringen, die die Chipindustrie unterstützen werden“, sagt Volker Schmidt, Leiter Research & Technology von ASML Berlin.