Sputtern an Atmosphärendruck

Typ

Beitrag Zeitschrift von Jan Bickel

Zitation

Bickel, Jan; Krellmann, Martin; Gesche, Roland; Kovacs, Reinhold; Scherer, Joachim: Sputtern an Atmosphärendruck. In: Galvanotechnik, S. 2268-2273, 2015, ISSN 0016-5232 | B 20696